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首頁-技術(shù)文章-紅外干涉測(cè)厚儀在線薄膜厚度監(jiān)測(cè)原理簡析

紅外干涉測(cè)厚儀在線薄膜厚度監(jiān)測(cè)原理簡析

更新時(shí)間:2026-10-14      點(diǎn)擊次數(shù):89
   在工業(yè)薄膜生產(chǎn)流程里,實(shí)時(shí)掌握膜層厚度狀態(tài),是保障產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定的重要環(huán)節(jié)。很多連續(xù)化生產(chǎn)的薄膜生產(chǎn)線,需要一套可以持續(xù)采集厚度信息的檢測(cè)方案,紅外干涉測(cè)厚儀基于紅外光干涉原理實(shí)現(xiàn)厚度檢測(cè),適配多種高分子薄膜、多層復(fù)合膜的在線監(jiān)測(cè)場景。
  紅外光照射到薄膜樣品時(shí),會(huì)在薄膜上下兩個(gè)界面分別形成反射光,兩束反射光之間存在光程差,進(jìn)而產(chǎn)生光的干涉現(xiàn)象。設(shè)備采集干涉信號(hào)之后,對(duì)干涉光譜進(jìn)行解析,計(jì)算得到薄膜厚度。整個(gè)檢測(cè)過程響應(yīng)速度較快,可以跟隨產(chǎn)線連續(xù)采集數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)非接觸式在線監(jiān)測(cè),不需要和薄膜表面直接接觸,不會(huì)劃傷正在高速移動(dòng)的膜材。
  不同材料對(duì)紅外波段光線的吸收特性,會(huì)直接影響檢測(cè)效果。部分材料在選定紅外波段吸收較強(qiáng),會(huì)削弱反射干涉信號(hào),信號(hào)信噪比下降,不利于厚度計(jì)算。還有一些多層復(fù)合膜,各層材料紅外吸收特性差異小,區(qū)分各層信號(hào)會(huì)存在難度。在項(xiàng)目前期評(píng)估階段,需要了解待測(cè)材料的紅外光譜吸收特性,判斷該檢測(cè)方式是否適配產(chǎn)品,提前預(yù)判信號(hào)采集的可行性。
  在線檢測(cè)場景下,產(chǎn)線工況會(huì)對(duì)檢測(cè)信號(hào)產(chǎn)生擾動(dòng)。薄膜在傳送過程中發(fā)生抖動(dòng)、膜面傾斜,會(huì)改變紅外光入射角度,光程差隨之變化,帶來信號(hào)波動(dòng)。產(chǎn)線環(huán)境里的水汽、粉塵,也會(huì)對(duì)紅外光路造成影響,干擾干涉信號(hào)。在設(shè)備布置階段,需要合理規(guī)劃安裝位置,減少薄膜抖動(dòng)范圍,同時(shí)做好光路區(qū)域的環(huán)境管控,降低外部因素干擾,維持信號(hào)穩(wěn)定。
  數(shù)據(jù)采集之后,系統(tǒng)會(huì)按照預(yù)設(shè)算法完成光譜解析,輸出厚度數(shù)據(jù)。連續(xù)生產(chǎn)過程中,厚度數(shù)據(jù)會(huì)持續(xù)記錄,形成厚度變化曲線,生產(chǎn)人員可以根據(jù)數(shù)據(jù)變化,及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù),避免批量產(chǎn)品出現(xiàn)厚度偏差。紅外干涉測(cè)厚儀這類在線監(jiān)測(cè)方案,改變了傳統(tǒng)抽樣檢測(cè)模式,抽樣只能獲取離散點(diǎn)位數(shù)據(jù),而在線監(jiān)測(cè)可以得到整條幅面的連續(xù)厚度信息,更容易捕捉到生產(chǎn)過程中短暫出現(xiàn)的工藝波動(dòng)。
  行業(yè)內(nèi)薄膜產(chǎn)品品類不斷豐富,多層共擠膜、功能性復(fù)合膜的市場需求持續(xù)增長,對(duì)在線厚度監(jiān)測(cè)的要求也不斷提升。紅外干涉測(cè)厚相關(guān)技術(shù)也在持續(xù)優(yōu)化,優(yōu)化光譜解析算法,提升信號(hào)抗干擾能力,適配更快的產(chǎn)線速度,為薄膜生產(chǎn)的過程管控提供支撐。

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