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光譜橢偏儀是一種高精度測量材料光學性質的儀器，能夠定量地測量材料的折射率、厚度、表面形態等參數。它的工作原理是探測材料對偏振光的旋轉和二次波，進而獲得材料的光學常數、薄膜厚度和表面結構等信息。核心部分是光源、光偏振器、光軸調節器、樣品臺、光學檢測裝置。其工作流程通常是，光源所發出的偏振光經過光偏振器、光軸調節器，照射到樣品表面，測量后的光子通過光學檢測裝置，轉換為電信號，并經過數據處理得到光學參數。其結構特點如下：光源系統：光源系統是基礎部分，通常采用白熾燈或氙燈作為光源，并...